低溫等離子體廢氣凈化設備去除污染物的基本過程：
等離子體被稱為物質第4形態，由電子、離子、自由基和中性粒子組成。低溫等離子體有機氣體凈化器是利用等離子體。以每秒800萬次至5000萬次的速度反復轟擊異味氣體的分子，去激活、電離、裂解廢氣中的各種成份，從而發生氧化等一系列復雜的化學反應，再經過多級凈化，將有害物轉化為潔凈的空氣釋放至大自然。
低溫等離子體廢氣凈化設備工作原理是采用高壓發生器形成低溫等離子體，在平均能量約5eV的大量電子作用下，使通過凈化器的苯、甲苯、二甲苯等有機廢氣分子轉化成各種活性粒子，與空氣中的O2結合生成H2O、CO2等低分子無害物質，使廢氣得到凈化。
電暈放電屬于電極的不對稱放電形式，電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。作為環境污染處理領域中的一項具有極強潛在優勢的高新技術，等離子體受到了國內外相關學科界的高度關注。
低溫等離子體技術在廢氣處理中的應用隨著工業經濟的發展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業產生的揮發性有機廢氣也日漸增多，這些廢氣不僅會在大氣中停留較長的時間，還會擴散和漂移到較遠的地方，給環境帶來嚴重的污染，這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康產生極大的危害；另外工業煙氣的無控制排放使全球性的大氣環境日益惡化，酸雨（主要來源于工業排放的硫氧化物和氮氧化物）的危害引起了各國的重視。由于大氣受污染而酸化，導致了生態環境的破壞，重大災難頻繁發生，給人類造成了巨大損失。因此選擇一種經濟、可行性強的處理方法勢在必行。
降解揮發性有機污染物（VOCs）傳統的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實現，而光催化降解VOCs又存在催化劑容易失活的問題，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有潛在的優勢。但由于等離子體是一門包含放電物理學、放電化學、化學反應工程學及真空技術等基礎學科之上的交叉學科。因此，目前能成熟的掌握該技術的單位非常的少。大部分宣傳采用低溫等離子技術處理廢氣的宣傳都不是真正意義上的低溫等離子廢氣處理技術。
等離子凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器。
本工藝在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、極板激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。
1、微波激發區：本工藝有3至9個微波激發單位，根據被處理風量的不同數量不同，微波由于它的頻率相對比較高，在納秒的時間內有效作用于被處理空間（區域），由于微波的功率相對較小，因此在激發能力上也就是說電子的獲能躍遷能力上有限，本設計只是把微波作為初頻激發源，在處理過程中作為一種預激發能。由于微波的預激功能，極大的提高等離子體區，極板區的激發能力和處理效果，由于微波技術的運用，本工藝在同類設備的比較中顯得設備精煉而效果優越。
2、低溫等離子體激發：本工藝有40支至240支充有特殊氣體的無極管組成的低溫等離子體激發區，低溫等離子體區是工藝的核心技術，國外諸多科研機構室稱在常壓下實現低溫等離子體。從大量的試驗分析，常壓低溫等離子體要在工業中應用存在的困難仍舊很大，本工藝借助低氣壓的無極燈作為低溫等離子體的激發體，最大限度地在無極管區實現低溫等離子體區，由于低溫等離子體在能量躍遷過程中具有極強的能量平衡性，在粒子撞擊中失能極少，所以低溫等離子體作為原子激發是最理想的一種能。在實踐應用中，最大的科題在于低氣壓究竟是多少帕？管內充什么樣的氣體最有經濟價值？這沒有理論模型可言，只有通過實踐、實驗、分析。
根據被處理氣體的流量，極板間的電壓分12KV、16KV至42KV，極板間加以足夠高的電壓，在引風的作用下，極區由于負壓的作用，按照法拉第暗區理論、光致電離理論、自由離理論，在常壓或接近常壓的條件下有相當概率的粒子可能實現低溫等離子體。
根據三類的功能區，集中的目的是實現低溫等離子體，由于理論和實際使用條件上的區別，單一的方法獲得低溫等離子體，從功率上，外部條件上都存在差距。本工藝集三種技術與一體，原廢氣的去除率非常理想，根據測試，高濃度廢氣去除率可達84%以上。

電催化氧化工藝集低溫等離子體、微波放電、極板放電與一體，在實際使用中實現廢氣的有效處理是極為復雜的過程，整個過程在不到1秒的時間內完成。從理論到模型都能探究到相關的機理，通過三種方式的集中放電，廢氣分子從低能的E，在千分之一秒的時間內躍遷到足以使其電離的Em級，廢氣分子鍵充分斷裂，在雪崩式的撞擊中斷裂后的粒子由于質量更小，被進一步躍遷，與反應堆內的氧離子氫氧根離子發生反應，生成無害無味的CO2、H2O以及其它高價化合物。同時由于反應堆內臭氧以及紫外線的作用，徹底去除不同范疇的廢氣化合物，實地較為廣譜的去除空間。

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