CCQ-A型系列氣動超高真空插板閥是用壓縮空氣為動力，通過電磁換向閥改變氣路方向，推動氣缸活塞，驅動閥板作上下運動，實現閥門的開啟或關閉，從而達到在超高真空系統中接通或切斷氣流的目的。
適用的工作介質為潔凈的空氣和非腐蝕性氣體。
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適用范圍(Pa)
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105～1.3x10-7
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閥門漏率(Pa.L/S)
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DN≤200為≤1.3x10-7
DN≥250為≤6.7x10-7
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閥門烘烤溫度（℃）
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≤150(除傳動裝置外)
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開閥時閥板兩側壓力差(Pa)
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≤2.7x103
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氣源壓力（MPa）
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0.4～0.6
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電源電壓
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標準出廠：AC220V/50Hz
特殊指定：AC110V；DC24V；DC12V等
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信號反饋
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標準出廠：不帶反饋信號
特殊指定：微動開關DC/AC5～240V
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型號
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通徑(DN)
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ΦD
|
ΦD0
|
ΦD1
|
ΦD2
|
ΦD3
|
H
|
A
|
n-d
|
L
|
L1
|
B
|
法蘭標準
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CCQ-50A
|
50
|
89
|
72.4
|
61.6
|
55.6
|
/
|
60
|
91
|
8-M8
|
515
|
153
|
62
|
GB/T6071
|
|
CCQ-63A
|
63
|
114
|
92.1
|
82.6
|
76.6
|
/
|
65
|
105
|
8-M8
|
590
|
180
|
62
|
|
CCQ-80A
|
80
|
130
|
110
|
99
|
93
|
/
|
65
|
130
|
16-M8
|
608
|
220
|
75
|
|
CCQ-100A
|
100
|
152
|
130.2
|
120.7
|
114.7
|
/
|
70
|
152
|
16-M8
|
655
|
267
|
94
|
|
CCQ-150A
|
150
|
202
|
181
|
171.5
|
165.5
|
/
|
70
|
202
|
20-M8
|
707
|
350
|
94
|
|
CCQ-200A
|
200
|
254
|
231.8
|
222.3
|
216.6
|
/
|
80
|
251
|
24-M8
|
806
|
426
|
112
|
|
CCQ-250A
|
250
|
314
|
288
|
308
|
275
|
271
|
85
|
300
|
24-M10
|
1125
|
550
|
112
|
JB5278
|
|
CCQ-300A
|
300
|
365
|
338
|
353
|
323
|
318
|
90
|
352
|
32-M10
|
1195
|
613
|
140
|
/
|
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