等離子凈化器原理是低溫等離子凈化器在進行工作的時候，在外加電場的作用下，介質放電會產生出大量的攜能電子轟擊污染物分子，讓污染物分子電離、解離和激發，之后引發出一系列較為復雜的物理、化學反應，這時大分子污染物就會轉變成小分子安全物質，同時也會使有毒有害的物質成為無毒無害的或者是低毒低害的物質，最終使得污染物能夠被降解清除。
等離子凈化器是利用放電的方式產生出等離子體，之后激活有害氣體的分子，定向反應去除空氣中的有害氣體，最終實現對空氣的凈化。
等離子凈化器在廢氣處理中的應用隨著工業的發展逐漸的增多，工業生產中產生出的廢氣在大氣中停留的時間很長，同時還會擴散漂移到其他的地方，最終造成環境的污染，平時在生活中，如果人體吸入這些廢氣，就會對人體健康造成很大的危害。傳統的廢氣處理方法會受到很多條件的限制，但是使用低溫等離子進行廢氣處理受到的限制就會相對少很多。